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HMDS預(yù)處理真空烘箱
HMDS預(yù)處理真空烘箱 價(jià)格：  元(人民幣) 產(chǎn)地：江蘇昆山市
最少起訂量：1臺(tái) 發(fā)貨地：本地至全國
上架時(shí)間：2025-08-29 09:53:48 瀏覽量：22
蘇州伊諾華科工業(yè)設(shè)備有限公司  
經(jīng)營模式： 公司類型：
所屬行業(yè)：干燥箱/干燥柜 主要客戶：
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:郭春江 (先生) 手機(jī):13390895528
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郵箱:1063881097@qq.com 地址:

詳細(xì)介紹

HMDS烘箱，晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理，增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理，集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空，充氮加熱循環(huán)進(jìn)行，既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散，并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護(hù)膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復(fù)性好，節(jié)省藥液，環(huán)保，對(duì)人體無害的顯著優(yōu)點(diǎn)；也可用于晶片其它工藝的清洗。
設(shè)備型號(hào) HMDS-90
溫度范圍 RT+25~200°C
溫度分辨率 ±0.1°C
極限真空度 ＜10pa
抽氣速率 4L/S  常壓~100pa時(shí)間＜5min
氧含量

＜10ppm

潔凈度 class10
控制方式 PLC+觸摸屏（人機(jī)交互界面）
內(nèi)腔尺寸 W450mm*D450mm*H450mm
氮?dú)饬髁?/span> 0-100L/min
電源功耗 AC220V    50HZ     4.5KW
箱體 3mm優(yōu)質(zhì)SUS316#潔凈不銹鋼內(nèi)膽
外殼 SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆
保溫材料 環(huán)保無油型陶瓷纖維防火阻燃材料
安全保護(hù)措施 1.接地保護(hù)     2.過載保護(hù)      3.超溫保護(hù)

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