| 【原裝進(jìn)口】DS200FGPAG1A PLC模塊現(xiàn)貨 | 廠商直供 閃電發(fā)貨 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
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| 上架時(shí)間：2025-06-13 13:39:50 | 瀏覽量：23 | |
深圳長(zhǎng)欣自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商 | 公司類型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：工控系統(tǒng)及裝備 | 主要客戶：鋼鐵廠,發(fā)電廠,煉油廠,化工廠 | |
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AMAT 0041-32713產(chǎn)品簡(jiǎn)介 AMAT 0041-32713是應(yīng)用材料（Applied Materials）推出的化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備核心控制器模塊，專為半導(dǎo)體制造中的薄膜沉積工藝設(shè)計(jì)。該模塊集成多工藝兼容性與高精度控制技術(shù)，支持3D NAND、邏輯芯片等先進(jìn)制程的硬掩膜沉積工藝，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠的薄膜沉積環(huán)節(jié)。 產(chǎn)品概述 AMAT 0041-32713屬于應(yīng)用材料CVD設(shè)備系列中的關(guān)鍵組件，基于Producer平臺(tái)開發(fā)，兼容PVD、ALD等多種工藝模塊。其核心功能包括實(shí)時(shí)監(jiān)控反應(yīng)腔體壓力、氣體流量及溫度參數(shù)，通過算法優(yōu)化薄膜均勻性與厚度一致性，滿足5nm以下先進(jìn)制程需求。模塊采用模塊化架構(gòu)，支持與Centura、Endura等平臺(tái)協(xié)同工作，實(shí)現(xiàn)全流程自動(dòng)化控制。 主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì) 多工藝兼容性： 支持高密度等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（HDP-PECVD）、原子層沉積（ALD）等多種工藝，適配3D NAND存儲(chǔ)芯片、邏輯芯片及先進(jìn)封裝需求。 通過動(dòng)態(tài)調(diào)整射頻功率與氣體配比，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜厚度控制（誤差<1%）。 高精度實(shí)時(shí)控制： 內(nèi)置高速數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)腔體壓力（范圍1-1000 mTorr）、氣體流量（精度±0.5 sccm）及溫度（范圍200-500°C），確保工藝穩(wěn)定性。 采用自適應(yīng)閉環(huán)控制算法，補(bǔ)償環(huán)境波動(dòng)對(duì)薄膜沉積的影響。 集成化工藝管理： 與應(yīng)用材料IMS（集成制造系統(tǒng)）深度整合，實(shí)現(xiàn)沉積、刻蝕、CMP等工藝的真空環(huán)境無縫銜接，減少晶圓暴露風(fēng)險(xiǎn)。 支持多設(shè)備協(xié)同調(diào)度，提升產(chǎn)線吞吐量與良率。 可靠性與維護(hù)性： 模塊采用冗余設(shè)計(jì)，關(guān)鍵部件（如傳感器、控制器）支持熱插拔更換，縮短停機(jī)時(shí)間。 兼容遠(yuǎn)程診斷功能，通過軟件工具（如eMaint）實(shí)現(xiàn)故障預(yù)警與維護(hù)規(guī)劃。 技術(shù)規(guī)格 工藝類型：CVD（包括HDP-PECVD、ALD等） 控制參數(shù)：壓力（1-1000 mTorr）、溫度（200-500°C）、氣體流量（±0.5 sccm） 通信接口：以太網(wǎng)、RS-485（支持IMS系統(tǒng)集成） 環(huán)境適應(yīng)性：工作溫度0-40°C，濕度5%-95%（非冷凝） 兼容平臺(tái)：Producer、Centura、Endura 應(yīng)用領(lǐng)域 AMAT 0041-32713主要應(yīng)用于以下場(chǎng)景： 半導(dǎo)體制造：3D NAND閃存芯片的硬掩膜沉積、邏輯芯片的介電層沉積。 先進(jìn)封裝：硅通孔（TSV）工藝中的薄膜填充與隔離層沉積。 功率器件：碳化硅（SiC）與氮化鎵（GaN）器件的高溫薄膜沉積。 光伏與傳感器：太陽能電池表面鈍化層、MEMS傳感器薄膜制備。 相關(guān)產(chǎn)品 Producer系列CVD設(shè)備：與0041-32713協(xié)同實(shí)現(xiàn)3D NAND硬掩膜沉積，市占率超50%。 Centura刻蝕系統(tǒng)：提供沉積-刻蝕一體化解決方案，支持真空環(huán)境工藝銜接。 Reflexion CMP設(shè)備：用于薄膜后端研磨與拋光，與0041-32713配合優(yōu)化晶圓表面平整度。 |
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