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磁力真空退火爐磁場真空合金爐

	價(jià)格：888 元(人民幣)	產(chǎn)地：山東青島市
	最少起訂量：1臺	發(fā)貨地：山東青島市
	上架時(shí)間：2025-05-08 15:24:38	瀏覽量：65
	青島晨立電子有限公司
	經(jīng)營模式：	公司類型：私營有限責(zé)任公司
	所屬行業(yè)：電子產(chǎn)品制造設(shè)備	主要客戶：
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聯(lián)系人:姜 (先生)	手機(jī):13954285618
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郵箱:qingdao_chenli@126.com	地址:

詳細(xì)介紹

用途：

該設(shè)備用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝過程中，在可控磁場中實(shí)現(xiàn)真空退火、真空合金、真空晶化等工藝。該系統(tǒng)具有精確的磁場強(qiáng)度和溫度控制系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù)：

◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型

◆工作溫度范圍：500度，700度，1100度。

◆恒溫區(qū)長度及精度：±0.5℃/800mm

◆氣體流量設(shè)定精度:±1％F.S

◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆工藝均勻性:≤±5％

◆控制方式：工業(yè)微機(jī)控制

◆真空度： 5*10-4 Pa

◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制

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