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CHUCK卡盤,PFA高純耐腐蝕涂層加工,CMP研磨盤耐腐蝕,耐高溫橡膠圈,半導體晶圓花籃
CHUCK卡盤,PFA高純耐腐蝕涂層加工,CMP研磨盤耐腐蝕,耐高溫橡膠圈,半導體晶圓花籃 價格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:上海
最少起訂量:1 發(fā)貨地:浦東新區(qū)
上架時間:2024-07-02 15:02:24 瀏覽量:44
上海 雍昌環(huán)保科技有限公司  
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 公司類型:私營有限責任公司
所屬行業(yè):金屬表面處理及設備 主要客戶:各類金屬制品廠家、軸承制造商、機械零部件、醫(yī)療器械、軍工航天航空
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:吳笛 (小姐) 手機:13061803373
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詳細介紹

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PPB級超高純半導體防腐專用PFA ,高純,半導體研磨盤PFA閥門,應用石英石晶 圓花籃,半導體清洗槽,半導體設備
蘇威哈拉涂層,改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半導體清洗槽設備涂層加工
超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級, 否則會污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能, 抵御各類強酸強堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會滲透 進入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過硬劃傷晶圓
產(chǎn)品案例
8/12寸晶圓花籃由于強度 載重原因,部分無法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
叉手在轉移晶圓的同時, 會造成晶圓劃傷,需要表 面進行防護,同時材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉運臂

 純度:PPB級 
厚度:100-800?m 
耐酸:濃酸
硬度:4H
顏色:黑色,白色,透明;疑

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