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RBN-XY系列雙軸精密運動臺

	價格：元(人民幣)	產(chǎn)地：本地
	最少起訂量：1臺	發(fā)貨地：本地至全國
	上架時間：2024-04-24 11:35:50	瀏覽量：117
	北京瑞邦精控科技有限公司
	經(jīng)營模式：	公司類型：
	所屬行業(yè)：儀器儀表加工設(shè)備	主要客戶：高校，企業(yè)，科研單位
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:王欣悅 (小姐)	手機(jī):18145668702
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詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點

l ? 緊湊式直驅(qū)結(jié)構(gòu) ? 重復(fù)定位精度±50nm

l ? 抗蠕動交叉滾柱導(dǎo)軌 ? 直線度和平面度±0.5μm

l ? 微動步距≤2nm ? 可定制高真空版本

應(yīng)用領(lǐng)域

RBN-XY系列是一款高精度的雙軸精密運動臺，具有納米級微動步距，亞微米級重復(fù)定位精度，高動態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測、測試測量、半導(dǎo)體、光纖對準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。

結(jié)構(gòu)特點

三片式疊層結(jié)構(gòu)設(shè)計，有效地降低工作點的高度，減小阿貝誤差對系統(tǒng)精度的影響。直線電機(jī)驅(qū)動，具有零齒槽、高動態(tài)性能及電流噪聲小等特點。運動臺在低速運動時保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)不會產(chǎn)生振動�？谷鋭咏徊鏉L柱直線導(dǎo)軌，滾柱間線線接觸，運動平穩(wěn)，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。

精度性能

非接觸式光柵尺閉環(huán)反饋，通過結(jié)構(gòu)設(shè)計、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控，獲得高精度指標(biāo)，定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度和平面度±0.5μm。

微動步距

對有微動步距要求的應(yīng)用領(lǐng)域，如最小步距運動、對準(zhǔn)應(yīng)用等，微動步距≤2nm，對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求，更多細(xì)節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。

定制化

可定制高真空環(huán)境下的版本，真空度10^-7Torr；定制最大加速度，多軸結(jié)構(gòu)等；根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運動控制方案。

規(guī)格指標(biāo)

型號		單位	RBN-50XY	RBN-110XY	RBN-150XY
行程		mm	50 x 50	110 x 110	150 x 150
補(bǔ)償后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.1	±0.1
補(bǔ)償后定位精度	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±0.25	±0.3	±0.3
雙向重復(fù)定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.025	±0.05	±0.05
雙向重復(fù)定位精度	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±0.1	±0.1	±0.1
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.25	±0.5	±0.5
直線度 ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±1	±1	±1.5
平面度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.5	±0.5	±0.5
平面度 ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±1	±1	±1.5
Pitch Roll ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±2.5	±3	±3
Pitch Roll ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	arc sec	±5	±5	±5
Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±1	±1	±1
Yaw ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	arc sec	±2.5	±2.5	±2.5
電子分辨率 ⁽³⁾		nm	0.3 或 5（選配）
速度 (空載) ⁽⁴⁾		mm/s	200
加速度 (空載) ⁽⁴⁾		m/s?	1,（5 定制）
負(fù)載		kg	20

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下的精度指標(biāo)，速度和加速度取決于負(fù)載大小。

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