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MicroTool EL-3003 電子水準(zhǔn)儀晶圓 EL-1503 EL-5003?

品牌：MicroTool

類別：電子水準(zhǔn)儀晶圓

型號：EL-Series

公司簡介：

MicroTool的產(chǎn)品通過改進(jìn)關(guān)鍵的晶圓處理操作來提高硅產(chǎn)量和設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間。

我們花了數(shù)年時(shí)間開發(fā)用于測量和分析機(jī)器人、裝載口和其他工廠自動(dòng)化的設(shè)備。

這些系統(tǒng)將“對齊藝術(shù)”轉(zhuǎn)化為可重復(fù)和可測量的科學(xué)。

產(chǎn)品簡介：

在不損壞硅片的情況下設(shè)置和循環(huán)測試您的設(shè)備。

這種高科技碳纖維復(fù)合材料晶片幾乎堅(jiān)不可摧，按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)直徑、平整度和凹口規(guī)格制造。

碳纖維虛擬晶片也被設(shè)計(jì)為模仿硅片的重量和結(jié)構(gòu)特性。

提供125150、200、300和450mm SEMI兼容直徑。

還可以定制印刷圖案和機(jī)加工幾何形狀。

碳纖維材料的重量接近硅片的重量。

晶圓周長和凹口與預(yù)對準(zhǔn)器兼容。

碳纖維材料幾乎堅(jiān)不可摧。

與真空和邊緣抓握末端執(zhí)行器兼容。

產(chǎn)品介紹：

很快就會(huì)成為您工具箱中使用最多的項(xiàng)目！保留所有你的

設(shè)備與布魯克斯的電子水平晶片“在水平面上”。

與硅片的重量相匹配，這款多功能工具

該設(shè)計(jì)允許在末端執(zhí)行器和晶片處理刀片上使用

以及晶片盒和石英舟。簡單到

使用顯示器，您可以向地面或您自己的用戶水平

定義的參考平面。直觀的圖形和觸摸屏

簡化操作，同時(shí)遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)顯示

便于遠(yuǎn)程調(diào)整。

Features:??

> 2-Axis electronic level for leveling to?

ground or to a learned reference?

> Numerical readout for both pitch and?

roll allows for statistical analysis and?

calibration to specification??

> Intuitive graphics screens and touch?

screen LCD simplify operation?

> Adjustments can be made?

conveniently using the remote real

time display?

> Carbon fiber wafer mimics the?

geometry and weight of a silicon wafer?

> New high resolution, high accuracy?

electronic level?

> New low profile – fits through more slit?

valves?

> Fast settling time?

> Improved software with user setup?

capabilities?

> Settable tolerances w/ graphical?

pass/fail indication?

> Data logging allows dynamic studies?

and facilitates monitoring equipment?

over time

其它相關(guān)型號：

MicroTool EL-1503? ?Form Factor：150mm

MicroTool EL-2003? ?Form Factor：200mm

MicroTool EL-3003? ?Form Factor：300mm

MicroTool EL-4503? ?Form Factor：450mm

MicroTool EL-5003? ?Form Factor：1” X 3” X 3” Block?

MicroTool EL-5003-Reticle? ? Form Factor：Reticle?

MicroTool LP-3004? 300mm Load Port Checker With AMHS Compatibility?

MicroTool FG-3000? Loadport Force Gage?