產(chǎn)品參數(shù) |
是否支持加工定制 | 否 |
分辨率 | 5nm@30kV SE |
放大倍數(shù) | x15~x150 |
000 |
加速電壓 | 1kV-30kV (1kV步進(jìn)) |
電子槍 | 發(fā)叉式鎢絲陰極 |
探測(cè)器 | 標(biāo)配SE/BSE(可伸縮),可選配EDS |
樣品臺(tái) | X | 35mm(馬達(dá)驅(qū)動(dòng)),Y | 35mm(馬達(dá)驅(qū)動(dòng)),T | 0~45°(馬達(dá)驅(qū)動(dòng)), R | 360°(電子束旋轉(zhuǎn)),Z | 5 ~ 50mm |
樣品座 | 通用7個(gè)樣品樁的樣品臺(tái);通用30mm的樣品臺(tái); 通用傾斜樣品臺(tái);通用截面臺(tái) |
樣品倉(cāng)尺寸 | 100mm * 100mm * 100mm (長(zhǎng) * 寬 * 高) |
圖像模式 (像素) | Focus(160x120 );RED (320 x 240 ); TV(640 x 480 );Slow(800 x 600 ); Photo(1280 x 960 ,2560 x 1920 |
5120 x 3840 ) |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵、渦輪分子泵(小于3分鐘) |
自動(dòng)功能 | 聚焦、燈絲、亮度、對(duì)比度 |
特殊功能 | 駕駛模式(通過(guò)控制桿操作); 低真空模式;SE BSE混合像,分屏同時(shí)顯示 SE像 |
BSE像;線輪廓;CCD樣品導(dǎo)航 |
外形尺寸 | 400(寬)×600(長(zhǎng))×550(高) |
品牌 | 盈滿諾 | |