| 勻膠機(jī)Laurell自動滴膠WS-650MZ-23NPPB\/UD3B |
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價格：10.50 元(人民幣) | 產(chǎn)地：湖北武漢 |
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武漢邁可諾科技有限公司
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.jpg) 1、?系統(tǒng)概述 1.1 智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作安全； 1.2 防腐裝置； 1.3設(shè)有保護(hù)氣體裝置：旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)； 1.4 通信接口，藍(lán)牙連接； 2、處理腔體 2.1 處理腔體內(nèi)徑不小于9.5英寸?(241毫米)； 2.2 Wafer芯片尺寸至少滿足10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，無需更換片托； 2.3 腔體具有易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)； 3、?旋轉(zhuǎn)馬達(dá) 3.1 轉(zhuǎn)動速度至少滿足0-12,000rpm； 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不超過±1； 4、控制系統(tǒng) 4.1工藝時間設(shè)定范圍至少滿足1-5999.9sec/step ，精度不超過0.1s； 4.2?配有高精度PLC可編程的控制器，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006； 4.3 可存儲不少于20個程序段，每個程序段可設(shè)置不少于51個不同步驟的速度狀態(tài)； 4.4 分辨率要小于0.5RPM，重復(fù)性誤差要小于±0.5RPM，具有國際NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并且無需再校準(zhǔn)； 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系統(tǒng)：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲； 5.2 真空吸附范圍25-28 英寸汞柱?(~635-711毫米汞柱)可調(diào)節(jié)，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ； 6、系統(tǒng)附件 6.1 原裝進(jìn)口水平測試儀；? 6.2 兩袋密封圈；? 6.3 配有兩套可更換的廢液接收單元； 6.4 UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒； 6.5 EBR晶圓去邊，機(jī)械裝置；
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