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當(dāng)前位置: 首頁 >> 全部產(chǎn)品 >> 儀器儀表 >> 變送器 >> 紫外光刻曝光機(jī)紫外光刻技術(shù)設(shè)備
紫外光刻曝光機(jī)紫外光刻技術(shù)設(shè)備
紫外光刻曝光機(jī)紫外光刻技術(shù)設(shè)備 價格:16.00  元(人民幣) 產(chǎn)地:上海上海
最少起訂量:1 發(fā)貨地:上海上海
上架時間:2024-11-19 08:33:00 瀏覽量:6
米歇爾集團(tuán)上海工程技術(shù)有限公司  
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 公司類型:股份合作企業(yè)
所屬行業(yè):變送器 主要客戶:石油化工行業(yè)
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳先生 (先生) 手機(jī):15102116866
電話: 傳真:
郵箱:michell@email.cn 地址:上海市博園路1333號北虹橋大廈8509室

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌米歇爾MICHELL
是否進(jìn)口
長度170cm
滑塊數(shù)量1個
產(chǎn)地上海
可售賣地全國
類型紫外曝光
型號URE-2000/17

紫外光刻系統(tǒng)
1、曝光面積:110mm×110mm

2、曝光波長:365nm(純凈光源)

2、分辨力: 1.5μm

3、對準(zhǔn)精度 ± 1μm

4、掩模樣片整體運(yùn)動范圍:X:6mm;Y:6mm

5、掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸

6、直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm);

7、照明均勻性:±3

9、掩模相對于樣片運(yùn)動行程: X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度

10、汞燈功率:200W

11、曝光量設(shè)定:定時曝光 定時(到計(jì)時方式 0.1s-999s任意設(shè)定、設(shè)定精度0.1s)

12、雙目雙視場顯微鏡:物鏡三隊(duì):4X、10X、20X,目鏡三對:10X、16X、20X或者 升級為無極變倍,觀測更加方便。

應(yīng)用領(lǐng)域

集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻,波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等

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