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紫外光刻系統(tǒng)紫外曝光光刻系統(tǒng)
紫外光刻系統(tǒng)紫外曝光光刻系統(tǒng) 價格:16.00  元(人民幣) 產(chǎn)地:上海上海
最少起訂量:1 發(fā)貨地:上海上海
上架時間:2024-11-19 08:32:34 瀏覽量:6
米歇爾集團上海工程技術有限公司  
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 公司類型:股份合作企業(yè)
所屬行業(yè):變送器 主要客戶:石油化工行業(yè)
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳先生 (先生) 手機:15102116866
電話: 傳真:
郵箱:michell@email.cn 地址:上海市博園路1333號北虹橋大廈8509室

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌米歇爾MICHELL
是否支持加工定制
是否進口
安裝方式上門安裝培訓
包裝規(guī)格標準
可售賣地全國

紫外光刻系統(tǒng)
1、曝光面積:110mm×110mm

2、曝光波長:365nm(純凈光源)

2、分辨力: 1.5μm

3、對準精度 ± 1μm

4、掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm

5、掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸

6、直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);

7、照明均勻性:±3

9、掩模相對于樣片運動行程: X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度

10、汞燈功率:200W

11、曝光量設定:定時曝光 定時(到計時方式 0.1s-999s任意設定、設定精度0.1s)

12、雙目雙視場顯微鏡:物鏡三隊:4X、10X、20X,目鏡三對:10X、16X、20X或者 升級為無極變倍,觀測更加方便。

應用領域

集成電路芯片、電子封裝、微電子機械系統(tǒng)、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻,波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等

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