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紫外光刻系統(tǒng)紫外曝光光刻系統(tǒng)

	價格：16.00 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時間：2024-11-19 08:32:34	瀏覽量：6
	米歇爾集團上海工程技術有限公司
	經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工	公司類型：股份合作企業(yè)
	所屬行業(yè)：變送器	主要客戶：石油化工行業(yè)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳先生 (先生)	手機:15102116866
電話:	傳真:
郵箱:michell@email.cn	地址:上海市博園路1333號北虹橋大廈8509室

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌	米歇爾MICHELL
是否支持加工定制	否
是否進口	否
安裝方式	上門安裝培訓
包裝規(guī)格	標準
可售賣地	全國

紫外光刻系統(tǒng)
1、曝光面積：110mm×110mm

2、曝光波長：365nm（純凈光源）

2、分辨力：　1.5μm

3、對準精度 ± 1μm

4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸

6、直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；

7、照明均勻性：±3

9、掩模相對于樣片運動行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度

10、汞燈功率：200W

11、曝光量設定：定時曝光定時（到計時方式 0.1s-999s任意設定、設定精度0.1s）

12、雙目雙視場顯微鏡：物鏡三隊：4X、10X、20X，目鏡三對：10X、16X、20X或者升級為無極變倍，觀測更加方便。

應用領域

集成電路芯片、電子封裝、微電子機械系統(tǒng)、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等

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