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單面自動(dòng)紫外光刻機(jī)

型號(hào)：URE-2000/35A

簡(jiǎn)單介紹：光刻機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機(jī), 該型號(hào)光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。
二．技術(shù)參數(shù)
1、曝光面積：150mm×150mm
2、分辨力：1μm（膠厚2mm的正膠）
3、對(duì)準(zhǔn)精度：：±0.5μm
4、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)
7、厚度0.1mm-6mm(可擴(kuò)展為15mm)
8、照明均勻性：±3.5（Ф100mm范圍）
9、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流）
11、曝光波長(zhǎng)：365nm（進(jìn)口汞燈）
12、曝光能量密度：25mW/cm 可以根據(jù)需要增強(qiáng)或調(diào)弱(420nm以上波長(zhǎng)小于0.1mW/cm )
13、曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式0.1s—999.9s）