潔凈室的定期維護(hù)是非常必要的。清潔人員必須要穿著與生產(chǎn)人員一樣的潔凈服，潔凈室的清潔器具，包括拖把，也要仔細(xì)選擇。一般家庭使用的清潔器具太臟，無(wú)法在潔凈室使用。而且使用真空吸塵器也要特別注意。在真空吸塵器中的排風(fēng)系統(tǒng)中，裝有HEPA過(guò)濾器，現(xiàn)在已經(jīng)可以在潔凈室中使用。許多潔凈室有內(nèi)置式真空系統(tǒng)來(lái)減少清潔時(shí)產(chǎn)生的臟東西。
擦凈工藝工作臺(tái)需要使用特殊的低污染的抹布與海綿。而且擦拭的程序也是非常關(guān)鍵的。墻面的擦拭要從上到下，桌面要從后向前。用噴壺噴灑的清潔劑，應(yīng)噴到潔凈布表面，而不是被清潔物表面。雖然這個(gè)方法很簡(jiǎn)單，但可以減少在晶圓與設(shè)備上的不必要的過(guò)量噴灑。這樣潔凈室的清潔本身也就成為支持半導(dǎo)體工藝的輔助技術(shù)。許多制造廠聘請(qǐng)外部認(rèn)證公司24來(lái)確定潔凈等級(jí)、工作過(guò)程、程序文件與控制程序，并加以文件化。