KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):
| 射頻離子源型號 | RFICP380 | 
| Discharge 陽極 | 射頻 RFICP | 
| 離子束流 | >1500 mA | 
| 離子動能 | 100-1200 V | 
| 柵極直徑 | 30 cm Φ | 
| 離子束 | 聚焦, 平行, 散射 | 
| 流量 | 15-50 sccm | 
| 通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 | 
| 典型壓力 | < 0.5m Torr | 
| 長度 | 39 cm | 
| 直徑 | 59 cm | 
| 中和器 | LFN 2000 | 
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在柔性基材 PET 上沉積 AgCu 合金制備的 NSN 系列隔熱膜, 繼承了單 Ag 隔熱膜良好的光譜選擇性, 同時能有效的解決 Ag 易硫化的難題, 還具有抗氧化功能, 以防止隔熱膜長期放置透射率指標(biāo)變化過大.
NSN70 隔熱膜是沉積 AgCu 合金的金屬膜系結(jié)構(gòu)產(chǎn)品, 它生產(chǎn)效率高、隔熱性好.
KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能, 增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實(shí)現(xiàn)的.
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