最近中文字幕完整版免费,又粗又硬又大又爽免费视频播放,一本色道久久东京热,伊人久久精品中文字幕,亚洲一卡2卡3卡4卡乱码

PLC企業(yè)資訊
    hakuto 離子刻蝕機(jī) 7.5IBE 用于芯片制造中厚鋁刻蝕
    發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時(shí)間:2020-12-10 16:07:23

    hakuto 離子刻蝕機(jī) 7.5IBE 用于芯片制造中厚鋁刻蝕


    在高壓、大功率器件及集成電路中鋁布線要求能夠承受高壓、大電流在惡劣的環(huán)境下具備良好的可靠性因此需要一定的鋁.

     

    沈陽(yáng)某研究所采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 7.5IBE 用于芯片制造中厚鋁刻蝕.

     

    Hakuto 離子蝕刻機(jī) 7.5IBE 技術(shù)規(guī)格:

    真空腔

    1 set, 主體不銹鋼,水冷

    基片尺寸

    1 set, 4”/6”? Stage, 直接冷卻,

    離子源

    ? 8cm 考夫曼離子源 KDC75

    離子束入射角

    0 Degree± 90 Degree

    極限真空

    1x10-4 Pa

    刻蝕性能

    一致性: ≤±5% across 4”

     

     Hakuto 離子刻蝕機(jī) 7.5IBE 的核心構(gòu)件離子源是配伯東公司代理美國(guó)考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 75

     伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC75 技術(shù)參數(shù):

     離子源型號(hào)

     離子源 KDC 75 

    Discharge

    DC 熱離子

    離子束流

    >250 mA

    離子動(dòng)能

    100-1200 V

    柵極直徑

    7.5 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    2-15 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長(zhǎng)度

    20.1 cm

    直徑

    14 cm

    中和器

    燈絲

     

    若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                      T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯東版權(quán)所有翻拷必究!

    版權(quán)聲明PLC信息網(wǎng)轉(zhuǎn)載作品均注明出處,本網(wǎng)未注明出處和轉(zhuǎn)載的,是出于傳遞更多信息之目的,并不意味 著贊同其觀點(diǎn)或證實(shí)其內(nèi)容的真實(shí)性。如轉(zhuǎn)載作品侵犯作者署名權(quán),或有其他諸如版權(quán)、肖像權(quán)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)等方面的傷害,并非本網(wǎng)故意為之,在接到相關(guān)權(quán)利人通知后將立即加以更正。聯(lián)系電話:0571-87774297。
0571-87774297